ВЛИЯНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК МИКРООБЪЕМОВ ЭЛЕМЕНТОВ СБИС НА ЭНЕРГОВЫДЕЛЕНИЕ ОТ ПРОТОННОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ

А. В. Афонин, Л. А. Гришанцева, В. А. Полунин, А. И. Чумаков
Вопросы атомной науки и техники. Сер. Математическое моделирование физических процессов 2012. Вып.4. С. 70-73.

Уменьшение активных размеров элементов интегральных схем увеличивает их чувствительность к локальным радиационным эффектам, вызванным воздействием ядерных частиц. В настоящей работе проводилось численное моделирование по программе GEANT4 процессов энерговыделения при воздействии протонов с энергиями 151 000 МэВ в элементах СБИС разных размеров и форм, находящихся в типичной среде окружения. Полученные результаты для микронных размеров "чувствительных" областей свидетельствуют, что максимальное энерговыделение в микрообъеме слабо зависит от условий собирания заряда, учет частиц, образующихся за пределами чувствительного объема, увеличивает вероятность энерговыделения почти в 3 раза, а при энергиях протона более 50 МэВ максимальное энерговыделение остается практически неизменным (рис. 5, список лит. - 4 назв.).